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基礎(chǔ)信息Product information
產(chǎn)品名稱：德?tīng)柛?Polytron 3500 電化學(xué)式有毒氣體監(jiān)測(cè)儀
產(chǎn)品型號(hào)：Polytron 3500
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
半導(dǎo)體工業(yè)的氣體監(jiān)測(cè)專家---德?tīng)柛馪olytron3500基于裂解原理，用于連續(xù)監(jiān)測(cè)環(huán)境中的毒氣如NF3，和氟化物如C4F6, C5F8。Polytron3500變送器集所有必要功能位一體，如氣體采樣，處理和分析。
產(chǎn)品特性Product characteristics
德?tīng)柛?Polytron 3500 有毒氣體監(jiān)測(cè)儀
半導(dǎo)體工業(yè)的氣體監(jiān)測(cè)專家---德?tīng)柛馪olytron3500基于裂解原理，用于連續(xù)監(jiān)測(cè)環(huán)境中的毒氣如NF3，和氟化物如C4F6, C5F8。Polytron3500變送器集所有必要功能位一體，如氣體采樣，處理和分析。
選擇性監(jiān)測(cè)
選擇合適的熱解爐內(nèi)部溫度和合適的傳感器，可對(duì)三氟化氮 NF3 或 氟化/氯化有機(jī)化合物（如 C4F6、C5F8 和其它 PFC）進(jìn)行選擇性監(jiān)測(cè)。
使用方便
該熱解器基本無(wú)需操作上的設(shè)置或調(diào)整。 4 至 20 mA 輸出信號(hào)外加特殊狀態(tài)信號(hào)可直接連至另一系統(tǒng)做進(jìn)一步信號(hào)處理。
安裝快速而簡(jiǎn)單
分體式設(shè)計(jì)理念——由安裝基座和變送器主機(jī)構(gòu)成，可以節(jié)省時(shí)間和成本。基座可以預(yù)先安裝。 設(shè)備試運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，主機(jī)可通過(guò)插鎖方式與基座連接，預(yù)熱過(guò)后即可投入運(yùn)行。
測(cè)量結(jié)果可靠
采用zui前沿電子技術(shù)以及全屏蔽金屬外殼，使得德?tīng)柛褡兯推骶哂械目股漕l干擾性能。內(nèi)置泵和高溫裂解爐持久耐用，能夠長(zhǎng)期可靠運(yùn)行。分流系統(tǒng)采用無(wú)干擾測(cè)量模式（針對(duì)常規(guī)流速0.5-1.5l/min）。
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